一般來說檢測(cè)儀器氣密性的方法主要有抽氣法、潛氣法和靜壓法三種。抽氣法通過采用壓力變化的原理，將外部空氣壓力引入被測(cè)儀器內(nèi)部，在一定時(shí)間內(nèi)觀察室內(nèi)的氣壓是否會(huì)發(fā)生變化；潛氣法采用被測(cè)儀器內(nèi)的氣體流動(dòng)原理，借助被測(cè)儀器內(nèi)部產(chǎn)生的流量計(jì)，觀察是否有氣體在被測(cè)儀器外流失；靜壓法將被測(cè)儀器內(nèi)外夾置在一定壓力之間，觀察室內(nèi)壓力是否發(fā)生變化，以檢測(cè)氣密性情況。

一般來說檢測(cè)儀器氣密性的方法主要有抽氣法、潛氣法和靜壓法三種。

抽氣法通過采用壓力變化的原理，將外部空氣壓力引入被測(cè)儀器內(nèi)部，在一定時(shí)間內(nèi)觀察室內(nèi)的氣壓是否會(huì)發(fā)生變化。

潛氣法采用被測(cè)儀器內(nèi)的氣體流動(dòng)原理，借助被測(cè)儀器內(nèi)部產(chǎn)生的流量計(jì)，觀察是否有氣體在被測(cè)儀器外流失。

靜壓法將被測(cè)儀器內(nèi)外夾置在一定壓力之間，觀察室內(nèi)壓力是否發(fā)生變化，以檢測(cè)氣密性情況。

抽氣法具有測(cè)量精度高、重復(fù)性好的特點(diǎn)，缺點(diǎn)是抽氣時(shí)間較長(zhǎng)；潛氣法性價(jià)比較高，但精度高低受流量計(jì)精度影響；靜壓法精度較高，缺點(diǎn)是數(shù)據(jù)采集速率較慢。