檢查儀器氣密性的具體操作流程包括：一、準備環(huán)境：準備室外壓力計、內部壓力計、壓力控制器、室外風扇和排氣風扇等必備設備；二、室外準備：準備外部壓力傳感器，連接室內壓力計，并將室外壓力補償器安裝在室外；三、室內檢測：啟動室內壓力控制器，使室外壓力恒定，調整室內壓力到檢測值；四、排氣檢測：控制室外風扇開啟，調整排氣風扇流量，直至室內壓力達到0.1MPa的要求； 五、室外檢測：用室外壓力傳感器檢測室外壓力，調整室外壓力調節(jié)器和室內壓力，確保檢測精度；六、結論：檢測完成后，讀取室內壓力和室外壓力，比較室內外壓力，結束檢測。

準備環(huán)境時，需要準備室外壓力計、內部壓力計、壓力控制器、室外風扇和排氣風扇等必備設備。

室外準備的工作包括準備外部壓力傳感器，連接室內壓力計，并將室外壓力補償器安裝到室外。

室內檢測需要先開啟室內壓力控制器，使室外壓力恒定，再調整室內壓力到檢測值。

排氣檢測是要控制室外風扇開啟，調整排氣風扇流量，直至室內壓力達到0.1MPa的要求。