為了檢查裝置氣密性，常用的方法包括漏氣測量、漏光測量、泄漏檢測儀等。

具體而言，漏氣測量可以確定裝置密封的程度，通常使用氣壓檢測裝置將裝置中的氣體抽出，然后用旋轉(zhuǎn)手輪將壓力調(diào)節(jié)到設定值，以確定不同位置的漏壓。漏光測量則使用可視光譜儀或探測儀，來監(jiān)測裝置中的氣體及物質(zhì)漏出情況；而泄漏檢測儀則直接探測裝置中的漏氣或漏物質(zhì)情況，以確定裝置是否密封。

檢查裝置氣密性的方法有漏氣測量、漏光測量、泄漏檢測儀等。

漏氣測量通常使用氣壓檢測裝置將裝置中的氣體抽出，然后用旋轉(zhuǎn)手輪將壓力調(diào)節(jié)到設定值，以確定不同位置的漏壓。

漏光測量使用可視光譜儀或探測儀，來監(jiān)測裝置中的氣體及物質(zhì)漏出情況。

泄漏檢測儀可以直接探測裝置中的漏氣或漏物質(zhì)情況，以確定裝置是否密封。

檢查裝置氣密性的方法具有準確性高、適應性強、檢測靈敏度高、操作簡單等優(yōu)勢。