氦檢漏儀是半導(dǎo)體設(shè)備中用來(lái)檢查組件或系統(tǒng)之間是否有漏氦的儀器，它利用比樣品中漏氦多或比空氣中漏氦少的特性，來(lái)檢測(cè)漏性損傷，從而探測(cè)漏氣等不同缺陷，從而對(duì)元件的可靠性進(jìn)行驗(yàn)證。

該設(shè)備一般具有分辨率高、精度高、測(cè)試時(shí)間短、靈敏度高，多重氣體檢測(cè)功能等特點(diǎn)。

氦檢漏儀是半導(dǎo)體設(shè)備中用來(lái)檢查組件或系統(tǒng)之間是否有漏氦的儀器，它利用比樣品中漏氦多或比空氣中漏氦少的特性，來(lái)檢測(cè)漏性損傷，從而探測(cè)漏氣等不同缺陷，從而對(duì)元件的可靠性進(jìn)行驗(yàn)證。

氦檢漏儀一般具有分辨率高、精度高、測(cè)試時(shí)間短、靈敏度高，多重氣體檢測(cè)功能等特點(diǎn)。

氦檢漏儀主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，可用于檢測(cè)半導(dǎo)體芯片、電子組件、單元組件、機(jī)械部件等一系列表面漏洞、漏氣等缺陷。

氦檢漏儀比傳統(tǒng)的檢查方法具有檢測(cè)速度快、漏洞小、抗干擾性好、檢測(cè)靈敏度高等優(yōu)勢(shì)。